近日，由江蘇省牽頭開發(fā)的“納米圖形化直寫與成像檢測儀器的研發(fā)與應(yīng)用”和“新型高分辨雜化質(zhì)譜儀器的研制與應(yīng)用開發(fā)”兩項國家重大科學(xué)儀器設(shè)備順利通過科技部組織的綜合驗收。其中，昆山禾信承擔(dān)的“新型高分辨雜化質(zhì)譜儀器的研制與應(yīng)用開發(fā)”項目獲得專家的一致好評。

　　昆山禾信牽頭承擔(dān)的“新型高分辨雜化質(zhì)譜儀器的研制與應(yīng)用開發(fā)”和蘇大維格牽頭承擔(dān)的“納米圖形化直寫與成像檢測儀器的研發(fā)與應(yīng)用”是“十二五”期間江蘇省獲批的國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項。

　　“新型高分辨雜化質(zhì)譜儀器的研制與應(yīng)用開發(fā)”由昆山禾信聯(lián)合省內(nèi)外16家單位共同完成，在國內(nèi)首次實現(xiàn)不同種類質(zhì)量分析器的聯(lián)用，完成了3款國際先進(jìn)的質(zhì)譜整機(jī)研發(fā)及工程化，項目成果在全國超過40家單位推廣應(yīng)用，為南北極科學(xué)考察等國家重大科學(xué)研究提供支撐服務(wù)，實現(xiàn)了國產(chǎn)高端質(zhì)譜儀器出口歐美發(fā)達(dá)國家的突破。“納米圖形化直寫與成像檢測儀器的研發(fā)與應(yīng)用”項目由蘇大維格聯(lián)合上海理工大學(xué)、中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所等6家單位共同完成。

　　該項目解決了微納結(jié)構(gòu)光場的可調(diào)控技術(shù)、圖形的高速率寫入機(jī)制、微納結(jié)構(gòu)與納米精度多軸光機(jī)系統(tǒng)的設(shè)計與可靠性等難題;面向無掩模光刻，研制了紫外激光直寫光刻的關(guān)鍵技術(shù)、軟件和裝備;實現(xiàn)了從納米光子晶體結(jié)構(gòu)到微米級任意結(jié)構(gòu)的高效率光刻，與目前其他激光直寫技術(shù)相比，速度更快、效率更高。